Nevşehir Hacı Bektaş Veli Üniversitesi Bilgi Paketi
|
|||||
| Sınıf/Yarıyıl | 1 / Güz | ||||
| Ders Düzeyi | Doktora | ||||
| Ders Türü | Seçmeli | ||||
| Bölümü | ELEKTRİK-ELEKTRONİK MÜHENDİSLİĞİ ANABİLİM DALI DOKTORA (ÖNERİLEN PROGRAM) | ||||
| Ön Koşul Dersleri | Yok | ||||
| Öğretim Sistemi | Örgün | ||||
| Ders Süresi | 14 Hafta | ||||
| Öğretim Elemanı | CİHAN ÖNER (cihanoner@nevsehir.edu.tr) | ||||
| Diğer Öğretim Elemanı/Elemanları |
|||||
| Öğretim Dili | Türkçe | ||||
| Sınıf Dışı Uygulama/Staj | Yok | ||||
| Dersin Amacı | |||||
| Bu dersin amacı öğrencileri mikroelektronik alanındaki lider ve inovatif üretim teknolojileri hakkında bilgilendirmek, bu teknolojilerin birbirleri ile olan hiyerarşilerini,üstünlük ve zaaflarını öğrencilere aşılamak, farklı mikroelektronik teknolojilerinde hangi üretim tekniklerinin kullanılması gerekliliğini ve bu teknolojilerin üretimi sonucunda endüstriye ve halk kullanımına katkılarını kavrama yetisi aşılamaktır. | |||||
| Ders Öğrenme Çıktıları (DÖÇ) | PÇ | ODY | |
| Bu dersi başarı ile tamamlayan öğrenciler: | |||
| DÖÇ-1 | Farklı mikroelektronik üretim sistemleri hakkında bilgi sahibi olabilir. |
PÇ-1 Elektrik Elektronik Mühendisliği disiplinine özgü konularda bilimsel araştırmalar yaparak, bu bilgilerin yorumlanması ve uygulama becerilerinin kazanılması. |
Yazılı Sınav |
| DÖÇ-2 | Desen aktarımı türevlerinin önemini ve kullanım yerlerini bilebilir. |
PÇ-1 Elektrik Elektronik Mühendisliği disiplinine özgü konularda bilimsel araştırmalar yaparak, bu bilgilerin yorumlanması ve uygulama becerilerinin kazanılması. PÇ-2 Mühendislik uygulamalarında karşılaşılan karmaşık problemlerin analizi ve çözümü için gerekli olan modern teknik ve araçları geliştirme, seçme ve kullanma becerisi; bilişim teknolojilerini etkin bir şekilde kullanma becerisine sahiptir. |
Yazılı Sınav |
| DÖÇ-3 | Hangi mikroelektronik alanında ne tür yarıiletken malzemeler kullanılması gerektiğini ve bu malzemelerin ne tür proseslerden geçmesi gerektiği bilincine kavuşabilir. |
PÇ-1 Elektrik Elektronik Mühendisliği disiplinine özgü konularda bilimsel araştırmalar yaparak, bu bilgilerin yorumlanması ve uygulama becerilerinin kazanılması. PÇ-2 Mühendislik uygulamalarında karşılaşılan karmaşık problemlerin analizi ve çözümü için gerekli olan modern teknik ve araçları geliştirme, seçme ve kullanma becerisi; bilişim teknolojilerini etkin bir şekilde kullanma becerisine sahiptir. |
Yazılı Sınav |
| DÖÇ-4 | Mikroelektronik üretim alanında yarıiletken malzeme karakteristiklerinin ne tür etkilerinin olduğunun bilincinde olabilir. |
PÇ-2 Mühendislik uygulamalarında karşılaşılan karmaşık problemlerin analizi ve çözümü için gerekli olan modern teknik ve araçları geliştirme, seçme ve kullanma becerisi; bilişim teknolojilerini etkin bir şekilde kullanma becerisine sahiptir. PÇ-9 Mühendislik uygulamalarının evrensel ve toplumsal boyutlarda sağlık, çevre ve güvenlik üzerindeki etkileri ve çağın mühendislik alanına yansıyan sorunları hakkında bilgiye sahiptir. |
Yazılı Sınav |
| PÇ: Bölüm program çıktıları ÖDY: Ölçme ve değerlendirme yöntemi |
|||
| Dersin İçeriği | ||
| Bu ders, Sıcak İşleme, Difüzyon, Termal Oksidasyon, İyon İmplantasyonu, Hızlı Termal Tavlama, Desen Aktarımı, Optik Litografi, Fotorezistler, E-beam ve X-ray Litografisi, Vakum Bilimi ve Plazma, Aşındırma, İnce Film Püskürtme, Kimyasal Buhar Biriktirme, Epitaksiyel Büyüme konularını içermektedir. | ||
| Haftalık Detaylı Ders İçeriği | ||
| Hafta | Detaylı İçerik | Öğretim Yöntem ve Teknikleri |
| 1 | Sıcak İşlemeye Giriş | Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
| 2 | Difüzyon | Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
| 3 | Termal Oksidasyon | Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
| 4 | İyon İmplantasyonu | Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
| 5 | Hızlı Termal Tavlama | Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
| 6 | Desen Aktarımına Giriş | Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
| 7 | Optik Litografi | Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
| 8 | Ara Sınav | |
| 9 | Fotorezistler | Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
| 10 | E-beam ve X-ray Litografileri | Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
| 11 | Vakum Bilimi ve Plazma | Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
| 12 | Aşındırma | Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
| 13 | İnce Film Püskürtme | Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
| 14 | Kimyasal Buhar Biriktirme | Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
| 15 | Epitaksiyel Büyüme | Anlatım, Soru-cevap, Tartışma |
| 16 | Final Sınavı | |
| Ders Kitabı / Yardımcı Kitap | ||
| 1 | Campbell, Fabrication Engineering at the Micro and Nanoscale, (4th), Oxford University Press, 2012. | |
| 2 | J.-P. Colinge, C. A. Colinge, Yarıiletken Devre Elemanları Fiziği, Nobel Akademik Yayıncılık, 2011. | |
| Ders Araç - Gereç ve Malzemeleri | ||
| Ders kitabı, dizüstü bilgisayar, projeksiyon cihazı | ||
| Ölçme Yöntemi | |||
| Yöntem | Hafta | Süre (Saat) | Katkı(%) |
| Ara Sınav | 8 | 1 | 40 |
| Diğer Ölçme Yöntemleri | |||
| 1.Sözlü Sınav | |||
| 2.Kısa Sınav (Quiz) | |||
| 3.Laboratuvar Sınavı | |||
| 4.Sunum | |||
| 5.Rapor | |||
| 6.Seminer | |||
| 7.Performans Ödevi | |||
| 8.Dönem Ödevi | |||
| 9.Proje | |||
| Final Sınavı | 16 | 1 | 60 |
| Öğrenci İş Yükü | |||
| İşlem Adı | Haftalık Saat | Sayı | İş Yükü |
| Haftalık Ders Saati (Teorik+Uygulama) | 3 | 14 | 42 |
| Sınıf Dışı Çalışma | |||
| a) Okuma | 3 | 18 | 54 |
| b) İnternette/Kütüphanede Tarama | 3 | 18 | 54 |
| c) Performans Ödevi | 0 | ||
| d) Seminer/Sunum/Rapor Hazırlama | 0 | ||
| e) Dönem Ödevi/Proje Hazırlama | 0 | ||
| Sözlü Sınav | 0 | ||
| Kısa Sınav (Quiz) | 0 | ||
| Laboratuvar Sınavı | 0 | ||
| Ara Sınav İçin Hazırlık | 1 | 14 | 14 |
| Ara Sınav | 1 | 1 | 1 |
| Final Sınavı İçin Hazırlık | 1 | 14 | 14 |
| Final Sınavı | 1 | 1 | 1 |
| 0 | |||
| 0 | |||
| Toplam İş Yükü | 180 | ||